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姑苏敏芯请求根据MEMS工艺的六维力传感器专利进步传感器功能
姑苏敏芯请求根据MEMS工艺的六维力传感器专利进步传感器功能 发表时间:2025-02-24 来源:特种工业材产品

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  金融界2024年12月4日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏敏芯微电子技术股份有限公司请求一项名为“一种根据MEMS工艺的六维力传感器”的专利,公开号CN 119063897 A,请求日期为2024年11月。

  专利摘要显现,本请求公开了一种根据MEMS工艺的六维力传感器,包含力传感器芯片,所述力传感器芯片包含坐落所述力传感器芯片中心方位的质量块,以及衔接所述质量块与芯片外框的弹性梁;所述弹性梁上设置有力敏电阻;底部结构,设置在垂直于所述力传感器芯片外表的方向,用于包容所述力传感器芯片;顶部结构,坐落所述力传感器芯片一侧,经过中心结构衔接所述力传感器芯片。

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